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      箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

      箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

      銷售咨詢熱線:181 3605 7999

      產品展示

      項目

      規格

      主機尺寸

      1955W x 1580D x 1750H mm

      真空腔體尺寸

      1020W x 1330D x 913H mm

      電極板配置

      16 片垂直電極板,15 個處理位置

      有效區域

      1100W x 615H mm

      等離子體電源

      10kw-20kw

      電極溫度

      35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間

      工藝氣體控制

      標配:
      O2、N2:0~5000sccm;
      CF4:0~400sccm;
      Ar:0~2000sccm;
      可選:
      額外一路工藝氣體,流量范圍可定制

      真空檢測

      0.01Torr~760Torr

      工作氣壓

      0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

      人機界面觸摸屏

      中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級;

      真空泵組

      選配

      型號指示燈

      三色指示燈,帶報警蜂鳴器

      系統重量

      ~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機

      空間需求

      4000 x 4000 x 2200(H)mm

      電源需求

      AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

      壓縮空氣需求

      潔凈、干燥,0.5~0.8MPa

      工藝氣體需求

      0.3~0.5MPa,純度>99.9%

      廠務冰水需求

      20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項)

      抽風系統

      >100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項)

      廢氣管道

      >3 立方/min,中央廢氣系統,DN50

      環境溫濕度

      20~30℃,30%~70%RH


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      本文標簽:

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